产品参数：
• 真空度: 优于2×10-10 Torr
• 温度范围：4～300K
• 配有原位观察孔、生长孔
• 可选配原位三维透镜台、探针台等
• 扫描头参数：
1） 样品架：可选择圆柱形样品架或平板样品架
2） 粗动范围：2.0mm@XY方向/4.0mm@Z方向
3） 扫描分辨力：0.01nm@XY方向/0.005nm@Z方向
4） 配有原位温度传感器（DT-670）和加热器（5W）
• 可选配分子束外延生长室或快速进样室
• 支持对接低温ARPES、UHV Suitcase、原位输运等设备
• 支持功能定制
• 已有北京大学、清华大学、北京量子院等成功案例
