产品参数：
• 真空度: 优于2×10-10 Torr
• 蒸发源法兰：CF35法兰（7个,可增加）
• 选配RHEED、LEED、AES等原位生长表征功能
• 多轴样品操纵台：
1）5轴，适配圆形样品架，集成液氮冷却、直流加热和电子束加热功能，温度范围85~1500 K
2）4轴（可定制6轴），适配旗形样品架，集成液氮冷却、直流加热和辐射加热 （650℃）功能，温度范围85~1500 K
3）高温样品台，适配旗形样品架，电子束加热方式，温度可达1700 K
• 选配低温冷屏
• 选配真空控制软件及生长控制软件
• 配有快速进样腔室，真空度优于2×10-8 Torr，可扩展退火功能
• 支持对接低温STM/AFM、ARPES、UHV Suitcase、原位输运等设备
• 支持功能定制
