1. 臭氧发生和存储部分 1) 臭氧发生装置单次供气量为3g 2) 具有束流控制系统。 3) 气路采用耐臭氧材质，系统漏率好于1.0E-8 mbar·L/s。 4) 冷却系统使用带有透视窗的液氮容器 2. 臭氧注入部分 1) 主腔气压调节范围：1.0E-6 Torr ~ 1 Torr； 2) 气压调节精度：当前真空度的10%； 3) 含1条注入管路 3. 臭氧提纯控制部分 1) 配备高精度温度采集模块，实时监测臭氧提纯装置运行温度；采用PLC高速运算核心，内置数字PID控制算法，精密控制高精度直流源输出加热电流，确保臭氧提纯过程温度稳定 2) 实时检测液氮储罐液位状态；具备液氮灌满自动提示功能；设置液氮低位报警阈值，及时发出缺液警报，确保系统安全稳定运行 3) 配置7英寸触摸屏操作面板，提供直观的图形化界面和操作指引，支持系统运行状态查看、参数设置、故障查询等功能，实现设备的智能化控制与管理。 | 
